勻膠旋涂?jī)x

    勻膠旋涂?jī)xCIF勻膠機(jī)轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、啟動(dòng)迅速,旋涂均勻,操作簡(jiǎn)單,結(jié)構(gòu)緊湊實(shí)用,為實(shí)驗(yàn)室提供了理想的解決方案。勻膠旋涂?jī)x廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、化工材料、生物材料、光學(xué),硅片、載玻片,晶片,基片,ITO 導(dǎo)電玻璃等工藝制版表面涂覆等。

    更新時(shí)間:2024-01-17 09:49:23
  1. 詳細(xì)信息

勻膠旋涂?jī)x產(chǎn)品特點(diǎn)

采用閉環(huán)控制伺服電機(jī),數(shù)字式增速信號(hào)反饋,速勻準(zhǔn)確,壽命長(zhǎng),保證勻膠的均一性。

5寸全彩觸摸屏,智能程序化可編程操控顯示,標(biāo)配10個(gè)勻膠梯度階段(速度和時(shí)間梯度設(shè)置),可選配10個(gè)可編程程序,每個(gè)程序下可設(shè)置10個(gè)勻膠梯度階段,z100個(gè)階段。

內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置,保證旋涂均勻,可對(duì)大小不同規(guī)格的基片進(jìn)行旋涂。

多重安全保護(hù):

電磁安全開(kāi)關(guān),蓋子打開(kāi)卡盤停止,保證安全;

蓋子自鎖功能,防止飛片蓋彈開(kāi)傷人;

雙重安全上蓋,聚四氟嵌鑲鋼化玻璃,避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人,保證實(shí)驗(yàn)人員安全。

樣品托盤卡口和樣品托盤之間三重密封安全保護(hù),有效降低電機(jī)進(jìn)膠的風(fēng)險(xiǎn)。

一機(jī)兩用,根據(jù)不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂方式。

符合人體功能學(xué)的水平取放樣品旋涂托盤設(shè)計(jì),取放樣品方便。

不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體,旋涂腔體采用PTFE材料。旋涂托盤采用聚丙烯(NPP-H)材料,耐酸堿防腐蝕,保證儀器在苛刻條件下仍能正常運(yùn)行。

上下雙腔體設(shè)計(jì),較大的上腔體便于擦拭去除膠液,錐形下腔體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)便于收集膠液,并帶廢膠收集裝置

可選氮?dú)獯蹈?、氮?dú)獗Wo(hù),自動(dòng)滴膠或簡(jiǎn)易滴膠裝置,提供多的操作便利性。

適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs,GaN,InP 等多種材料。

 

勻膠旋涂?jī)x技術(shù)參數(shù)

型號(hào)

轉(zhuǎn)速(轉(zhuǎn)/分)

轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度

勻膠時(shí)間

旋涂基片尺寸mm

外型尺寸(LxWxH)mm

SC1

50-10000

±1%

0-2000秒

圓片Φ5-Φ100,方片z大100x100

310x260x250


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